一、仪器简介

X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy， XPS）

生产厂商：日本岛津/Kratos Analytical Co. LTD.

型号：AXIS SUPRA+

二、主要性能指标

1、X射线源：大束斑聚焦单色化Al Kα辐射，最大功率600W；

2、电子能量分析器：165mm平均半径双层半球扇形，最佳电子能谱能量分辨（优于0.43eV，Ag 3d5/2）和最佳化学状态成像空间分辨（优于1μm，快速平行成像，锐利刀口样品）；

3、光电子检测器：128物理通道的双层二维阵列延迟线（DLD），同时实现采谱和成像，可实现动态XPS分析；

4、荷电中和系统：无阴影单电子源， PET的O-C=O的C 1s 峰的能量分辨≤0.68eV，C-C/C-H的 C 1s 峰计数率≥20kcps；

5、化学状态成像：快速平行成像，空间分辨率优于1μm

三、仪器功能和附件

1、可对有机高分子材料、金属材料、无机化合物和复合材料以及其他固体材料的表面10nm深度范围内进行元素及其化学状态、价带电子态分析；

2、具备光电子平行成像功能，可实现表面元素及其化学状态的二维分布分析；结合离子刻蚀技术可实现表面元素及其化学状态的纵深方向分布分析；

附件：

1、微束VI型多模式Ar团簇离子枪；

2、紫外光电子能谱套件；

3、离子散射谱套件

四、应用领域

材料科学。