一、设备简介

扫描电子显微镜主要用于材料的微观表面观察与成分分析，包括纳米结构材料的观察和表征。此外，还要求对一些容易受电子束损伤的样品和导电性非常差的样品可以在低加速电压和进行直接观察。

二、检测原理

扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过聚光镜和物镜的汇聚，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背散射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。配置能谱仪附件可以接受所产生的特征X射线来实现微区成分分析。

三、功能特色

1. 搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的新型冷场电子枪

2. 配备加速电压减速功能，优良的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达0.8nm

3. 日立ExB专利技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品

4. 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

5.二次电子与背散射电子任意比例搭配功能

6.能谱仪：点分析、线扫描、面分布

四、技术参数

1、二次电子图像分辨率：0.7 nm@15kV，0.8 nm@1kV

2、加速电压：0.5～30 kV(减速着陆电压0.1～2 kV)

3、放大倍数：20～1,000,000x

4、马达台控制：5轴自动

5、能谱仪：分辨率：Mn Ka保证优于127eV（@计数率100,000cps）；元素分析范围: Be4～Cf98

五、应用范围

扫描电镜可广泛应用于纳米材料学、生物医学、化学、物理学、半导体、金属、陶瓷等领域样品的微观组织、结构、电子态、成分的科学研究。