一、设备简介
Talos F200i透射电子显微镜可以对材料形态、晶体结构、化学成分、界面结构、表面以及缺陷进行研究。纳米技术的兴起,材料研究越来越向微小尺度发展,高分辨TEM可以提供亚纳米级别的分辨能力,此仪器是探索决定物质表观特性微观本质的强有力工具。可实现对于多种材料的精准,多层次,多数据的分析,为科学研究提供强有力的工具。
二、检测原理
透射电子显微镜采用电子束做光源,电子束穿透样品后,经用透镜(电磁透镜)放大成像。样品放置在样品杆上,样品杆固定在样品台上,样品台置于真空系统中,显微镜主机的电子束经电子枪发射,在真空系统中穿过样品内部,并经多级透镜放大,经电子束专业相机采集收集成图像,设备采用透射经过样品的电子束对样品进行显微放大。
三、功能特色
高效率、超稳定镜筒设计 利用SmartCam实行远程操作;物镜功率恒定,可实现快速电镜模式和高压切换;可以快速,轻松地切换多用户环境。
可重复的可靠数据 所有日常的TEM调整,如聚焦,中心高度,光束偏移,聚光镜光阑对中,电子束倾斜枢轴点以及旋转中心调整都是自动的,以确保用户总是从最佳成像条件开始。实验可以多次重复,因而用户可以更多地关注研究课题本身而不是电镜的使用上。
快速大视场成像 大视场的 4k×4K Ceta CMOS 相机可以在整个高压范围内进行高灵敏度和高速度的实时数字变焦,更高效的活细胞成像。
自动化数据处理和联用 MAPS软件可以在整个样品上进行直观的图像导航,并在成像平台之间进行相关性分析。在高分辨率下进行大面积成像,MAPS 软件自动获取并缝合图像,以卓越的质量记录整个感兴趣区域。MAPS 可以跨多个工具使用,也可以在一个工具和工具中使用。它支持来自其它显微镜,例如SEM,Micro CT 或光学显微 镜的图像导入,覆盖和对准 。
四、技术参数
1、线分辨率:≤ 0.10 nm
2、扫描透射(STEM)分辨率:≤0.16 nm
3、加速电压: 20 kV – 200 kV高压,连续可调
4、电子枪类型:高稳定度的肖特基场发射电子枪
5、高分辨CMOS相机像素:感应尺寸:4,096 4,096像素,像素大小:≥14μm14μm
6、真空度:电子枪真空度< 5 ×10-6 Pa;样品区真空度< 2.0 x10-5 Pa
五、应用范围
透射电子显微镜是材料科学研究中十分重要的分析工具。可以进行样品的形貌分析,结构分析和成分分析。形貌分析:它获得非晶材料的质厚衬度像,多晶材料的衍射衬度像和单晶薄膜的相位衬度像(原子像)。结构分析:电子衍射,原子位错,孪晶类型,晶界结构等研究。成分分析:小到纳米尺度的微区或晶粒的成分分析。